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HOME > ISB 볼 트랜스퍼
 
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PANEL MAKET로부터 의뢰 받은 것을 계기로 클린룸용 BALL BEAR를 개발하게 되었다.
GLASS 기판을 지지하는 접촉부재로서 BALL BEAR을 채택함으로써 현재 핀 방식에 의한 얼라인먼트의
몇십 배나 되는 경량으로 얼라인먼트가 가능하다.
최근 LCD는 점점 대형화로 가는 추세에 있어 수지 접촉부재의 위를 미끄러지게 하는 기존의 위치결정 방법으로는 여러가지의 문제가 발생하고 있다. 이에 대해 마찰저항치가 슬라이드에 비해 약 1/10인 BALL BEAR을 사용하면
몇 가지의 이점을 낳는다.

슬라이드 방식에 비해 장기적으로 안정된 낮은 마찰저항으로 글라스 기판의 얼라인먼트가 가능하기 때문에 글라스의
  균열이 감소한다.
원활한 움직임으로 위치결정 정밀도가 향상된다.
마모로 인해 필요했던 접촉부재 교환작업을 대폭 삭감한다.
  재빠른 움직임으로 공정상의 TACT TIME을 줄일 수 있다.

LCD/PDP International 2002
'03 FINE TECH JAPAN에서 발표된 이래 패널 메이커나 각종 장치 메이커로부터 다양한 문의가 쇄도하고
있으며 까다로운 요구에도 대응하고 있다.

특히 FPD용 글라스 기판의 위치결정용으로 개발한 볼 베어링 ISC 시리즈는 다음과 같은 특징을 갖고 있다.
글라스 기판에 상처를 주지 않는 듀퐁TM베스펠 고기능 수지 재료를 메인 볼과
  작은 볼 본체(Body), 캡(Cap)에 사용한다.
듀퐁TM베스펠은 미국 듀퐁사의 등록상표이다.
PEEK 등의 각종 엔지니어링 플라스틱을 채택하고 사용자의 요구에 따라 재질을
  선택할 수 있는 타입을 새롭게 라인업했다.
극한까지 Particle 발생을 억제한 고정밀도 재료와 조립방식이다.
기존에는 없던 부품별 Clean 세정으로 클린팩을 표준화한다.
통산적인 환경은 물론 200도 이상의 고온환경, 진공장비 내, 빛의 반사를 꺼리는
  광학 측정기기 등 각종 용도에 따른 특수 제품에도 대응할 수 있다.

각 공정에서 카세트 스테이션의 글라스 반송용 카세트를 단순하게 위치결정
시키기 위한 스테이지 유닛이다. 미끄러지듯이 전(全)방향으로 이동하여
미묘한 위치결정으 단시간에 완료한다. 무(無)부하일때는 항상 원점으로
복귀하여 다음 카세트를 기다린다. 글라스 기판의 대형화 추세에 따라 카세트
사이즈도 커지고 있다. ILS 시리즈는 이러한 시장 요구에 대응하기 위해
종전보다도 컴팩트화를 도모하여 무거운 하중에 견딜 수 있는 유닛으로서
제품화하였다. 그리고 가동부를 Hold시킬 수 있는 타입도 준비했다.
또한 복합적인 움직임에도 대응할 수 있는 유닛을 투입하여 시스템화 구축의
일익을 맡고 있다.

기존의 에어 볼 리프터를 토대로 클린화를 추진한다. 각종 반도체, FPD
제조장치 내부에서의 위치결정이나 범용 지그 및 클린룸 내에서의 각종 중량
유닛 반송, 위치결정 시스템의 폭넓은 요구에 대응할 수 있는 유닛이다.
까다로운 사용자 요구에도 대응하는 특별 사양도 제작한다.


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